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177-3714-9370
產(chǎn)品型號(hào):KJ-RTP1000-DZ
主要用途:該定制RTP快速退火爐采用紅外燈管加熱,最快升溫速度為 50°C/秒,是CVD法生長(zhǎng)大尺寸二維石墨烯的常用設(shè)備,專為半導(dǎo)體基片和太陽(yáng)能電池或其他樣品(尺寸可達(dá)3")退火而設(shè)計(jì)。
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可選配置:該爐可配通訊接口和軟件,可以直接通過(guò)電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù),并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況,爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會(huì)實(shí)時(shí)繪出,并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來(lái),隨時(shí)可以調(diào)出。
該定制RTP快速退火爐由RTP滑軌管式爐、多通道質(zhì)子流量計(jì)系統(tǒng)及真空系統(tǒng)組成,專為半導(dǎo)體基片和太陽(yáng)能電池或其他樣品(尺寸可達(dá)3")退火而設(shè)計(jì)。這款管式爐是采用紅外燈加熱,最快升溫速度是50℃/秒。 30 段準(zhǔn)確溫度控制,精度為 ±1°C,RS485接口和控制軟件可以通過(guò)計(jì)算機(jī)控制爐子運(yùn)行并顯示溫度曲線。該快速熱處理管式爐是CVD法生長(zhǎng)大尺寸二維石墨烯的常用設(shè)備,它是專為半導(dǎo)體或太陽(yáng)能電池基片的退火而設(shè)計(jì),計(jì)算機(jī)通過(guò)RS485口和控制軟件實(shí)時(shí)控制爐子和顯示溫度曲線 。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
采用紅外燈加熱,加熱速度快,最快升溫速度是50℃/秒
控溫系統(tǒng)采用PID方式調(diào)節(jié),30 段準(zhǔn)確溫度控制,精度為?±1°C
爐子的底部安裝有一對(duì)滑軌,可使?fàn)t子從爐管的一側(cè)滑動(dòng)到另一側(cè),以實(shí)現(xiàn)快速加熱和快速冷卻
產(chǎn)品名稱 |
定制RTP快速退火爐 |
型號(hào) | KJ-RTP1000-DZ |
第一部分: 管式爐 |
|
產(chǎn)品名稱 |
開(kāi)啟式上下溫區(qū)RTP管式爐 |
工作溫度 |
≤1000℃ |
控 制 器 |
LCD觸摸屏 |
爐管尺寸 |
石英管 外徑80mm/內(nèi)徑72mm 單側(cè)開(kāi)口 |
加熱區(qū) |
300mm(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制) |
爐型 |
開(kāi)啟式 |
加熱元件 |
鹵素?zé)艏訜? |
升溫速率 |
≤50℃/S |
測(cè)溫元件 |
N型熱電偶 |
溫度控制器 |
30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器 |
第二部分 混氣系統(tǒng) |
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量程 |
MFC1:氧氣(O2)0-200sccm MFC2:氬氣(Ar)0-200sccm |
第三部分 真空系統(tǒng) |
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旋片式真空泵+排氣過(guò)濾器+防腐數(shù)字真空表 |
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河南鴻爐機(jī)械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的高新技術(shù)企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動(dòng)升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn);產(chǎn)品型號(hào)達(dá)到上百種,并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測(cè)之用,廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開(kāi)發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn),受到廣大新老用戶的一致好評(píng)。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺(tái)車爐、退火爐、升降爐、微波燒結(jié)爐、烤瓷爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鴻爐鄭重承諾:每臺(tái)電爐出廠前均經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的質(zhì)量檢測(cè)以及高溫測(cè)試,為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。?!
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