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pecvd系統(tǒng)的構(gòu)成部分和適用范圍
作者:河南鴻爐 來源：原創(chuàng) 發(fā)表時(shí)間：2016-06-17 09:58:15
等離子射頻電源主要用于高端院校實(shí)驗(yàn)室。半導(dǎo)體，太陽能光伏，手機(jī)行業(yè)，汽車行業(yè)，橡塑行業(yè)等。它可以和CVD設(shè)備一起組合成PECVD系統(tǒng)。
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