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CVD特點

作者:河南鴻爐來源：原創(chuàng) 發(fā)表時間：2014-04-25 15:20:54

CVD系統(tǒng)產品的特點：

1 CVD系統(tǒng)兼容、常壓、微正壓多種主流的生長模式

2 CVD系統(tǒng)可以在1000Pa-0.1Pa之間任意氣壓下進行石墨烯的生長

3 CVD系統(tǒng)使用計算機控制，可以設置多種生長參數(shù)

4 CVD系統(tǒng)可以制備高質量，大面積石墨烯等碳材料，尺寸可達數(shù)厘米，研究動力學過程

5 CVD系統(tǒng)沉積效率高；薄膜的成分準確可控，配比范圍大；厚度范圍廣，由幾百埃至數(shù)毫米，可以實現(xiàn)厚膜沉積且能大量生產

CVD技術特點：

具有淀積溫度低、薄膜成分和厚度易于控制、均勻性和重復性好、臺階覆蓋優(yōu)良、適用范圍廣、設備簡單等一系列優(yōu)點

CVD方法幾乎可以淀積集成電路工藝中所需要的各種薄膜，例如摻雜或不摻雜的SiO2、多晶硅、非晶硅、氮化硅、金屬(鎢、鉬)等

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