獲取報價
即刻留言 
添加微信咨詢報價服務熱線
177-3714-9370
當前位置:首頁 > 產品中心 > CVD/PECVD系統(tǒng) > 等離子體增強CVD系統(tǒng)(PECVD)
等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)
產品型號：KJ-PECVD-D1
主要用途：等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）技術是借助于輝光放電（等離子體）使含有薄膜組成的氣態(tài)物質發(fā)生化學反應，從而實現薄膜技術生長的一種系的制備技術。我公司依據實驗要求設計制作該款設備以適應各類薄膜研究的需要。
圖片點擊可放大
設備介紹
PECVD管式爐系統(tǒng)由：射頻電源，管式爐加熱區(qū)系統(tǒng)，質子流量計供氣系統(tǒng)，真空系統(tǒng),氣體定量系統(tǒng)組成。采用專業(yè)加熱元件，爐膛保溫材料采用多晶纖維材料，保溫性能好，耐用，拉伸強度高，無雜球，純度高，節(jié)能效果明顯優(yōu)于國內纖維材料。等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）技術是借助于輝光放電（等離子體）使含有薄膜組成的氣態(tài)物質發(fā)生化學反應，從而實現薄膜技術生長的一種制備技術。我公司依據實驗要求設計制作該款設備以適應各類薄膜研究的需要。產品優(yōu)勢
更好的沉積效率PECVD比普通CVD具有更高的化學氣相沉積速率、更好的均勻性、一致性和穩(wěn)定性
整機能耗低爐膛采用節(jié)能材料制作，整機能耗僅僅只有同等傳統(tǒng)電爐的1/3，節(jié)能環(huán)保
多重安全防護超溫報警并斷電，漏電保護，操作安全可靠具有多重防護功能
技術參數
| 產品名稱 | PECVD | |
| 產品型號 | KJ-PECVD | |
| 500W 射頻電源 | ||
| 匹配功率范圍 | 0-500W+1%可調 | |
| 工作頻率 | 13.56MHZ +- 0.005% | |
| 反射功率 | 最大200W | |
| 冷卻 | 風冷 | |
| 管式加熱系統(tǒng) | ||
| 滑道 | 帶滑道，可手動滑動爐膛，實現快速升溫或冷卻功能 | |
| 加熱區(qū)長度 | 300mm（其他尺寸可根據客戶需求定制） | |
| 爐管尺寸 | 60mm x1600mm （外徑x長） （其他尺寸可根據客戶需求定制） |
|
| 爐管材質 | 高純石英管 | |
| 工作溫度 | ≤1100℃ | |
| 溫控系統(tǒng) | 智能化30段PID微電腦可編程自動控制 | |
| 溫控精度 | ±1℃（具有超溫及斷偶報警功能） | |
| 加熱速率 | 建議0~10℃/min | |
| 加熱元件 | 電阻絲 | |
| 可通氣體 | 氮氣、氬氣等惰性氣體 | |
| 測溫元件 | 熱電偶測溫 | |
| 殼體結構 | 雙層殼體結構帶風冷系統(tǒng) | |
| 真空法蘭 | 不銹鋼法蘭，帶進出氣口 | |
| 供氣系統(tǒng) | 四路精密質子流量計： 測量精度：±1.5% F.S. 通過觸屏（定制）來調節(jié)氣體流量 |
|
| 真空系統(tǒng) | 旋片泵，真空度在空爐冷態(tài)可達10pa， 真空計：數顯真空計實時顯示真空度，精度高。 |
|
| 控壓系統(tǒng) | 控壓范圍 -20kpa 到 20kpa （也可按客戶要求設計） | |
| 自動化控制 | 觸摸屏界面集成控制爐子，真空泵，質量流量計以及射頻電源。爐子部分需要先設好溫度時間曲線。集成控制部分可以控制溫度曲線的啟停，真空度，氣體流量，射頻功率和射頻啟停,泄壓閥等。 | |
在線留言
報價清晰 材料透明 省錢省心留言獲取報價單。一鍵提供設備報價、方案設計等服務，我們將第一時間給予回復！
聯系我們
河南鴻爐機械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產品的研發(fā)、生產與銷售的高新技術企業(yè)。我公司產品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點；產品型號達到上百種，并可根據客戶需求定制各式爐型，以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫燒結、金屬退火、氣氛還原和質量檢測之用，廣泛應用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機械、耐火材料、建材、特種材料等領域的實驗和生產，受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐、微波燒結爐、烤瓷爐等標準及非標實驗電爐和工業(yè)電爐，并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鴻爐鄭重承諾：每臺電爐出廠前均經過嚴格的質量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產品！?。?/font>
1、我公司對所供設備提供質保一年保修服務（易損件除外），在保修期內因設備質量原因造成的設備損壞或故障，均予以免費維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質的維修服務。
2、在設備使用過程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設備正常運行。
3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
4、我公司技術人員可提供上門服務(產品安裝調試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
5、本公司可提供運輸服務，包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全（用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等）。
6、本公司所有產品均有歐盟CE質量認證。