服務熱線
177-3714-9370
產(chǎn)品優(yōu)勢
帶有預熱爐,氣體可通過此爐預熱也可將液體蒸發(fā)氣化或固體原料升華后與氣體原料混合
與普通PECVD相比較,其沉積溫度大大降低,減少了高溫對薄膜的損壞
等離子體化學活性很強,很容易發(fā)生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜
產(chǎn)品名稱 | 帶預熱系統(tǒng)滑動式PECVD設備 |
滑軌管式爐部分 | |
產(chǎn)品型號 | KJ-T1200-S06LC-YR |
爐管尺寸 | 直徑60mm*長度1600mm 可選其他直徑Φ50/80/100/120/150mm (其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制) |
爐管材質(zhì) | 石英管 |
加熱區(qū) | 雙溫區(qū),每個溫區(qū)長度200mm (其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制) |
工作溫度 | ≤1100℃ |
最高溫度 | 1200℃ |
溫控方式 | N型熱電偶 |
控制方式 | 觸屏控制 |
控溫精度 | ±1℃ |
溫控保護 | 具有超溫和斷偶保護功能 |
升溫速率 | 建議≤10ºC/min |
加熱元件 | 含鉬電阻絲 |
爐膛材料 | 氧化鋁多晶纖維 |
爐體結(jié)構(gòu) | 爐體帶滑軌,可實現(xiàn)快速升溫和降溫 |
法蘭接頭 | 標配配有兩個不銹鋼真空法蘭,已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥 |
密封系統(tǒng) | 該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸,氣密性好。 |
預熱爐部分 | |
主要參數(shù) | 最高溫度1100度 ,多段程序控溫,可將固體和液體原料放在預熱爐中,氣化后與氣體原料相混合 |
真空系統(tǒng)部分 | |
主要參數(shù) | 采用機械,可實現(xiàn)爐管內(nèi)的真空 |
氣路系統(tǒng)部分 | |
名稱 | 四路質(zhì)量流量計(量程可選) |
等離子電源部分 | |
功率范圍 | 0-500W(連續(xù)可調(diào)) |
售后服務 | 質(zhì)保一年,終身保修(耗材類:高溫密封圈、爐管、加熱元件等及人為損壞不屬于質(zhì)保范圍) |
更多規(guī)格可根據(jù)客戶需求定制 |
在線留言
報價清晰 材料透明 省錢省心
河南鴻爐機械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的高新技術(shù)企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點;產(chǎn)品型號達到上百種,并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫燒結(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用,廣泛應用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機械、耐火材料、建材、特種材料等領域的實驗和生產(chǎn),受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐、微波燒結(jié)爐、烤瓷爐等標準及非標實驗電爐和工業(yè)電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鴻爐鄭重承諾:每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴格的質(zhì)量檢測以及高溫測試,為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。?!
1、我公司對所供設備提供質(zhì)保一年保修服務(易損件除外),在保修期內(nèi)因設備質(zhì)量原因造成的設備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務。
2、在設備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設備正常運行。
3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
4、我公司技術(shù)人員可提供上門服務(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機維護、技術(shù)講解及操作指導等)。
5、本公司可提供運輸服務,包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術(shù)資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等)。
6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認證。