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177-3714-9370
產(chǎn)品型號(hào):KJ-TCVD1200-S50CK1
主要用途:該CVD管式爐適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、材料的氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。主要用于大學(xué),研究中心和生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行氣相沉積相關(guān)的實(shí)驗(yàn)與生產(chǎn)。
此款CVD氣相沉積系統(tǒng)的工作溫度為≤1100℃,配備真空泵,氣體混合裝置。采用了溫度控制系統(tǒng),高溫精度,出色的氣體流量精度,易于操作,有非常好的隔熱效果和溫度均勻性。該CVD管式爐適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、材料的氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。主要用于大學(xué),研究中心和生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行氣相沉積相關(guān)的實(shí)驗(yàn)與生產(chǎn)。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
發(fā)熱元件采用優(yōu)良電阻絲,爐膛采用陶瓷纖維材料,保溫性能好,經(jīng)久耐用,抗拉強(qiáng)度高,無(wú)雜志,純度高,節(jié)能效果明顯
雙層鋼制外殼,帶雙冷卻風(fēng)扇,爐殼溫度始終保持在安全范圍內(nèi),上開(kāi)啟打開(kāi)爐門,操作方便
內(nèi)置PID自動(dòng)調(diào)節(jié)功能,具有過(guò)熱和斷開(kāi)熱電偶斷開(kāi)保護(hù); 超溫保護(hù)和報(bào)警
設(shè)備名稱 | CVD管式爐 |
設(shè)備型號(hào) | KJ-TCVD1200-S50CK1 |
最高溫度 | 1200 ℃ |
工作溫度 | ≤1100℃ |
顯示 | 觸摸屏 |
爐管尺寸 | 外徑50mm,總長(zhǎng)度600m(其他尺寸可按需求定制) |
管材 | 石英 |
熱區(qū)長(zhǎng)度 | 200mm(單溫區(qū)) (其他尺寸可按需求定制) |
加熱元件 | 電阻絲 |
加熱速率 | 0-10℃/min |
溫度控制 |
● 30個(gè)可編程段,用于控制加熱速率、冷卻速率和停留時(shí)間。 ● 內(nèi)置PID自動(dòng)調(diào)節(jié)功能,具有過(guò)熱和熱電偶損壞保護(hù)功能。 ● 超溫保護(hù)和報(bào)警 |
熱電偶 |
N型 |
溫控精度 | ±1℃ |
爐體材質(zhì) | 爐體整體304不銹鋼,下箱碳鋼 |
爐膛結(jié)構(gòu) |
雙層鋼制外殼,帶雙冷卻風(fēng)扇 |
真空法蘭 | 不銹鋼密封水冷法蘭 |
供氣系統(tǒng) | |
1通道質(zhì)子流量計(jì): | 氣路:一路氮?dú)?br />流量控制:觸屏控制(選配) |
真空泵+真空計(jì)系統(tǒng) | |
真空泵+真空計(jì) | 旋片泵,極限真空度達(dá)到10Pa(冷卻狀態(tài)) |
壓力表 | 機(jī)械壓力表 |
CVD管式爐工廠實(shí)拍圖
注意事項(xiàng):
1、設(shè)備爐膛溫度≥200℃時(shí),禁止打開(kāi)爐膛,避免受到傷害;
2、設(shè)備使用時(shí),爐管內(nèi)壓力不得超過(guò)0.02MPa(絕對(duì)壓力),以防止壓力過(guò)大造成設(shè)備損壞;
3、當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓 相當(dāng),保持在常壓狀態(tài);
4、在對(duì)樣品加熱時(shí),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),絕對(duì)壓力表讀數(shù)不要大于0.02MPa,必須立刻打開(kāi)排氣端閥門,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)。
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河南鴻爐機(jī)械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的高新技術(shù)企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動(dòng)升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn);產(chǎn)品型號(hào)達(dá)到上百種,并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測(cè)之用,廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開(kāi)發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn),受到廣大新老用戶的一致好評(píng)。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺(tái)車爐、退火爐、升降爐、微波燒結(jié)爐、烤瓷爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鴻爐鄭重承諾:每臺(tái)電爐出廠前均經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的質(zhì)量檢測(cè)以及高溫測(cè)試,為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。?!
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