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產(chǎn)品型號(hào):KJ-T1200-S6012LK1-3FH5S
主要用途:高溫真空CVD設(shè)備是一種特殊的高真空CVD系統(tǒng),廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中沉積薄膜材料,包括大范圍的絕緣材料,以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料、二維材料等,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火用的理想產(chǎn)品。
KJ-T1200-S6012LK1-3FH5S型高溫真空CVD設(shè)備由KJ-T1200滑動(dòng)式快速退火管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)組成 ,最高溫度可以達(dá)到1200度,可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等,極限真空可以達(dá)到10-3Pa,供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)或浮子流量計(jì),混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合,可以對(duì)多種氣體進(jìn)行準(zhǔn)確的混氣,然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。爐管兩端安裝真空法蘭,可以通過(guò)選配真空泵組來(lái)實(shí)現(xiàn)更高的真空度。爐底安裝一對(duì)滑軌,可用手動(dòng)滑動(dòng)。為取得最快加熱,可以預(yù)先加熱爐子到設(shè)定的溫度,然后移動(dòng)爐子到樣品位置。為獲得最快冷卻,可在樣品加熱后移動(dòng)爐子到另一端,是低成本快速熱處理的理想爐子。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
整個(gè)爐體采用雙層內(nèi)膽式結(jié)構(gòu),中間有氣隙隔離,即使?fàn)t膛溫度很高,爐體表面仍然可以安全觸摸無(wú)滾燙感覺(jué)
重量輕、升溫速度快、節(jié)能、省時(shí)、耐高溫、耐腐蝕、保溫性好,能滿足何種快速燒結(jié)的要求
操作簡(jiǎn)便,控溫準(zhǔn)確、可靠、安全多段可編程控制,可以簡(jiǎn)化復(fù)雜的試驗(yàn)過(guò)程,真正實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制和運(yùn)行
結(jié)構(gòu) | 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷,用于江堤殼體表面溫度 | |
加熱元件 | 電阻絲 | |
工作溫度 | ≤1100°C | |
最高溫度 | 1200°C | |
最大升溫速率 | 建議10°C/min | |
加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 400mm (其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制) | |
溫控系統(tǒng) | 一個(gè)精密溫度控制器 PID方式控制,通過(guò)可控硅 SCR可設(shè)置30段升降溫程序。 | |
控溫精度 | +/-1°C | |
爐管材質(zhì)和尺寸 | 石英管 內(nèi)徑: 72mm x 外徑: 80 mm x 長(zhǎng)度:1000 mm (其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制) |
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密封法蘭 | 兩個(gè)不銹鋼密封法蘭,法蘭上已經(jīng)安裝數(shù)字式真空顯示計(jì),和閥門通過(guò)機(jī)械泵真空壓力可以達(dá)到5x10-2 torr,泄漏率最大6 mtorr/min | |
真空泵 | 真空泵:一個(gè)雙旋片式機(jī)械泵安裝在移動(dòng)架內(nèi)通過(guò)此機(jī)械泵真空度可以達(dá)到 5x10^-2 torr | |
氣體流量計(jì) | 4個(gè)浮子流量計(jì),可同時(shí)混入4種不同氣體。 四通道控制 精度0.02% 、數(shù)字顯示、自動(dòng)控制 |
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河南鴻爐機(jī)械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的高新技術(shù)企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動(dòng)升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn);產(chǎn)品型號(hào)達(dá)到上百種,并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型,以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測(cè)之用,廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開(kāi)發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn),受到廣大新老用戶的一致好評(píng)。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺(tái)車爐、退火爐、升降爐、微波燒結(jié)爐、烤瓷爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐,并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鴻爐鄭重承諾:每臺(tái)電爐出廠前均經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的質(zhì)量檢測(cè)以及高溫測(cè)試,為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。?!
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